1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具體尺寸以設計為準），1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接；

    2.樣品臺尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可調，旋轉：0-20r/min可調；可加熱至300℃；

    3.真空系統：機械泵（3L/S）+進口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥，DN63mm 限流閥；

    4.極限真空：8.0×10^-5Pa；

    5.真空抽速：大氣～8×10^-4Pa ≤ 30min；

    6.真空測量：全量程復合真空計，測量范圍：10⁵Pa～10^-5Pa；

        7.磁控靶：Φ2英寸2只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；

    8.濺射電源：1臺500W直流濺射電源和1臺300W全自動匹配射頻電源；

    9.質量流量計：10sccm、50sccm 控制器各一套；

    10.膜厚控制系統：進口Inficon SQM-160單水冷探頭，精度0.1?（選配）；

    11.控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養維護提示等功能

    12.設備外形：L60cm×W60cm×H96cm機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口；

    13.設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

    14.冷卻循環系統：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設備相關需水冷部件提供穩定的制冷水；